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東莞市雅之雷德機電科技有限公司

好凱德渦輪分子泵

2018/11/28 9:35:27 好凱德 渦輪分子泵 hokaido 真空泵

東莞市雅之雷德機電科技有限公司擁有介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產品系列(Turbo-M系列分子泵和Turbo-FF系列分子泵)以及分子泵機組。產品具有很高的性價比和靈活的安裝方式。經過實踐驗證的軸承系統提供了更優化的可靠性。主要應用在真空排氣臺、材料提純、真空爐、真空燒結、真空鍍膜行業、實驗室應用等領域。

渦輪分子泵是靠高速轉動的轉子挽帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵。工作壓力范圍為1Pa--10-8Pa,抽氣速率一般在5000L/s以下。先進的泵可以獲得10-9Pa的極限壓力,泵的轉速為10000r/min--50000r/min,這種泵的抽速范圍很寬,在九個數f級間具有恒定的抽速。分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵,但它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵,并且其主要性能(如極限壓力和抽速)都和配置的前級泵的容率、轉數,被抽氣體的種類有關。分子泵對較輕的氣休抽速較大,對組的抽速比對空氣的抽速大20%,我國在渦輪分子泵的研究和生產方面進展很快。在20世紀60年代研制成功的臥式渦輪分子泵的基礎上,很快發展了銑制和扭制葉片的兩種立式渦輪分子泵系列產品。抽速范圍110L/s,150L/s,450L/s,550L/s,600L/s,1200L/s,1500L/s和3500L/s等多種規格。我國制定了立式渦輪分子泵行業標準(JB/T 9125-95 )和渦輪分子泵性能側試方法國家標準(GB7774-87 ),并將磁懸式軸承用于渦輪分子泵中。

渦輪分子泵.jpg

乐发lv近10年來,由于軸承和高速旋轉以及數控加工技術的不斷發展,使國際上渦輪分子泵的研制取得了長足的進步,抽速從50L/s已發展到25000L/s(日本)甚至達40000L/s(俄羅斯)。在以機械運動的各類真空泵中分子泵是一種結構精密、工藝要求高的泵。泵的動、靜葉片的幾何形狀與抽速有很大關系,需要特殊的工藝加工來保證葉片的尺寸和精度。同時要求轉子有很好的動平衡,動葉片應具有高強度以承受高速轉動產生的離心力,保證泵的運轉可靠。

分子泵由里于泵體內的中頻電機直接驅動,渦輪轉子為整體式結構;該泵對大分子量的氣體有較高的壓縮比,且中頻電機置于前級空間,能獲得清沽的高真空和超高真空;它的性能特點是:結構緊湊,工作壓力范圍寬,在10-1Pa-10-7Pa范圍內具有穩定的抽速;工作平穩,由于采用了精密軸承,嚴格的動平衡工藝和一系列的減振措施,因而泵的振動小、噪聲低、啟動時間短,一般在4min-15min內能達到滿抽速;標準化的法蘭連接尺寸,垂直結構,使其便于與真空系統連接。

隨著渦輪分子泵的結構不斷改善,用途越來越廣。在某些應用領域已有代替油擴散泵的傾向。它適用于在要求清潔的高真空和超高真空的儀器設備上使用,如高能加速器、核聚變反應裝置、宇航模擬、真空鍍膜、真空冶煉、半導體提純、大型電子管排氣等。

目前磁懸浮式渦輪分子泵已達到實用化程度,使渦輪分子泵向高流量、高出口壓力方向發展。這樣分子泵不僅在極高和超高真空范圍內應用,還可用于高真空和中真空范圍。現已成為獲得清潔真空的主要設備(如干式分子泵的出現),應用領域在不斷擴大。

好凱德渦輪分子泵和前級泵的最佳協調組合;為實現最大范圍的應用。模塊化設計為相關應用提供了簡單的定制化服務。檢修容易,得益于獨立部件良好的可達性。集成的驅動電子設備;不需附加的控制系統。“即插即用”—不需安裝或布線。強大的工程特性成就了較長的使用壽命和較高的可靠性。前真空安全閥(選配)防止接收設備在出現停電時排氣。真空計的直接連接成為可能。


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